電子特氣是僅次于硅片的第二大晶圓制造材料，幾乎滲透到集成電路生產(chǎn)的每個(gè)環(huán)節(jié)，對(duì)集成電路的性能、集成度和成品率都有較大影響。
近年來，在政策支持等多重因素的推動(dòng)下，我國建立起了相對(duì)完整的電子特氣生產(chǎn)和供應(yīng)體系，產(chǎn)能逐步釋放，部分產(chǎn)品性能可比肩國際先進(jìn)水平，達(dá)到了集成電路用電子氣體的工藝要求。
但當(dāng)前我國和國外龍頭企業(yè)相比還有較大差距，電子特氣受制于人的局面尚未徹底扭轉(zhuǎn)。“據(jù)中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，目前集成電路生產(chǎn)用的電子特氣，我國僅能生產(chǎn)約20%的品種，所占國內(nèi)市場(chǎng)份額僅為12%，進(jìn)口依賴度高，關(guān)鍵核心技術(shù)受制于人，國產(chǎn)化水平亟待提升。” 全國人大代表、聯(lián)泓新材料科技股份有限公司董事長鄭月明也關(guān)注到此情況，并建議加強(qiáng)頂層設(shè)計(jì)，引導(dǎo)產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展；加大電子特氣創(chuàng)新研發(fā)支持力度，增強(qiáng)人才支撐；大力支持電子特氣國產(chǎn)化和市場(chǎng)應(yīng)用；進(jìn)一步支持優(yōu)質(zhì)電子特氣企業(yè)做大做強(qiáng)。
多重壁壘 制約產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展
我國電子特氣產(chǎn)業(yè)受制于人，一方面是因?yàn)槲覀兤鸩酵怼⒓夹g(shù)基礎(chǔ)偏弱， “就純度而言，先進(jìn)制程的集成電路制造技術(shù)要求電子特氣的純度達(dá)到5N—6N（99.999%—99.9999%），甚至7N（99.99999%）以上。目前國外多數(shù)龍頭廠商電子特氣純度可維持在6N，我國企業(yè)主要在4N—5N的中低端領(lǐng)域，僅少數(shù)能達(dá)到6N級(jí)別。可以看到，產(chǎn)業(yè)技術(shù)壁壘較為明顯。”鄭月明代表指出。
另一方面也與產(chǎn)業(yè)認(rèn)證壁壘和市場(chǎng)壁壘較高的特性有關(guān)。鄭月明介紹，下游高端領(lǐng)域客戶對(duì)供應(yīng)商的選擇均需經(jīng)過審廠、產(chǎn)品認(rèn)證2輪嚴(yán)格的審核認(rèn)證，其中集成電路領(lǐng)域的審核認(rèn)證周期長達(dá)2至3年，對(duì)于電子特氣生產(chǎn)企業(yè)來說時(shí)間成本較高。
同時(shí)，全球芯片產(chǎn)業(yè)較為集中，多數(shù)已和外資氣體供應(yīng)商建立了較穩(wěn)固的長期合作關(guān)系，一般不輕易更換。在市場(chǎng)格局已被外資企業(yè)率先搶占的背景下，國內(nèi)氣體企業(yè)上機(jī)檢測(cè)的機(jī)會(huì)較少，實(shí)現(xiàn)從0到1的突破比較困難。
加大扶持 促進(jìn)國產(chǎn)替代做大做強(qiáng)
針對(duì)以上行業(yè)現(xiàn)狀，鄭月明提出四項(xiàng)建議，即加強(qiáng)頂層設(shè)計(jì)，引導(dǎo)產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展；加大電子特氣創(chuàng)新研發(fā)支持力度，增強(qiáng)人才支撐；大力支持電子特氣國產(chǎn)化和市場(chǎng)應(yīng)用；進(jìn)一步支持優(yōu)質(zhì)電子特氣企業(yè)做大做強(qiáng)。
在加強(qiáng)頂層設(shè)計(jì)和增強(qiáng)人差支撐方面，鄭月明代表提出，“建議由國家有關(guān)部委牽頭，充分發(fā)揮行業(yè)協(xié)會(huì)作用，聯(lián)合科研院所和相關(guān)企業(yè)，開展電子特氣產(chǎn)業(yè)發(fā)展策略研究，制定行業(yè)發(fā)展中長期規(guī)劃，明確發(fā)展目標(biāo)。同時(shí)，可以通過政策引導(dǎo)，鼓勵(lì)企業(yè)加大研發(fā)投入。對(duì)技術(shù)門檻高的電子特氣研發(fā)項(xiàng)目，給予專項(xiàng)資金支持。支持高校設(shè)立相關(guān)學(xué)科專業(yè)，支持科研機(jī)構(gòu)相關(guān)研發(fā)平臺(tái)建設(shè)。”
在國產(chǎn)化和市場(chǎng)應(yīng)用方面，鄭月明建議出臺(tái)相關(guān)政策，支持和鼓勵(lì)產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)作，共同建設(shè)協(xié)同創(chuàng)新體系，打破或減少市場(chǎng)壁壘。支持集成電路、平板顯示企業(yè)優(yōu)先使用國產(chǎn)電子特氣產(chǎn)品，落實(shí)重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用保險(xiǎn)補(bǔ)償機(jī)制，鼓勵(lì)保險(xiǎn)機(jī)構(gòu)探索設(shè)計(jì)相關(guān)產(chǎn)品責(zé)任險(xiǎn)，降低產(chǎn)品認(rèn)證風(fēng)險(xiǎn)。
此外，鄭月明代表還建議，進(jìn)一步支持優(yōu)質(zhì)電子特氣企業(yè)做大做強(qiáng)。在特氣項(xiàng)目審批、融資、要素保障等方面提供支持。支持優(yōu)質(zhì)企業(yè)上市，支持上市企業(yè)通過增發(fā)、可轉(zhuǎn)換債券和配股等再融資方式做大做強(qiáng)，進(jìn)行產(chǎn)業(yè)整合，提升國際競(jìng)爭(zhēng)力。
